沈亦兵的个人简介
沈亦兵，男，1961年出生，1982年毕业于浙江大学光仪系，留校任教，1988年获硕士学位，1992～1995年在德国亚琛工业大学电子工程学系做联合培养博士，1998年获博士学位。经历
1996年，任浙江大学近代光仪研究室主任，晋升副教授，1999年起任浙江大学光电系副主任，2000晋升教授。从事与集成电路制造和加工有关的光学设备和光学成像系统以及微光学方面的研究。作为项目负责人承担过国家自然科学基金、国防预研基金、博士点基金和教育部骨干教师基金。同时作为技术负责人参加了863高技术项目和国家自然科学基金重点项目。先后在国内外各类期刊上发表论文20余篇。目前为仪器仪表学会机械量测试分会理事，《红外与激光工程》杂志编委。
著作
1．激光光刻中超分辨现象的研究
2．激光直接写入系统中的光功率稳定控制
3．激光光刻中焦深概念的新探讨
4．物镜像差对分辨率影响的一种测量分析法
5．准直小孔法自动调焦在激光直接写入系统中的应用
6．光栅衍射效率的二阶标量近似法研究
7．衍射光学元件衍射效率影响混合光学系统性能的一种分析方法
8．Research on Laser Direct Writing System and its Lithography Properties
9．声光调制器在激光直写系统光功率控制技术中的应用
10. 像散法高精度离焦检测系统研究
11. 红外折射－衍射混合光学系统的热差分析
12. 0.1mm大行程精密定位控制系统
13. 复杂工况下光学元件变形及应力有限元研究
14. 共焦检测法在高精度自动调焦闭环控制中的应用 光学学报仪器仪表学报
