郭立萍的个人简介
姓名：郭立萍职称：山东理工大学理学院讲师学习经历1995-1999：曲阜师范大学，理学学士基本信息
1999-2002： 烟台大学，理学硕士
2002-2006：中科院上海光学精密机械研究所，工学博士
承担课程
工作至今，曾讲授过的课程有：《量子力学》，《力学》，《光电技术》，《大学物理》等
研究方向
主要从事光学光刻技术方面的研究。
研究项目
获奖
学术交流
论文、专著
Liping Guo, Xiangzhao Wang, Huijie Huang. Analysis of illumination pupil filling ellipticity for CD control in photolithography. Chinese Optics Letters, 2006, vol 4（4）.
Liping Guo, Huijie. Huang, Xiangzhao Wang. Exposure dose control for step-and-scan lithography. Proc. SPIE, 5645, 217-223, 2004.
郭立萍， 王向朝， 黄惠杰. 照明光瞳非对称性对光刻成像影响. 光学学报,2006 vol 26（6）.
郭立萍, 黄惠杰, 王向朝. 积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用. 光子学报, 2006 vol 35（7）.
郭立萍, 黄惠杰, 王向朝. 步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术研究. 激光杂志, 2004 （12）.
郭立萍, 黄惠杰, 王向朝. 光学光刻中的离轴照明技术. 激光杂志, 2005 （1）.
郭立萍, 王向朝. 步进扫描投影光刻机中的杂散光原位检测方法. 发明专利No.200510024229. X.
